- [鑫藍動態(tài)]三氟化氮廢氣處理工藝-鑫藍環(huán)保[ 2025-06-10 00:00 ]
- 三氟化氮（NF?）是一種廣泛應用于半導體制造、平板顯示和光伏行業(yè)的特種氣體，但其高全球變暖潛能值（GWP，約為17,200）和潛在的環(huán)境危害性（高溫分解后可能生成HF、NOx等有毒物質(zhì)）使其廢氣處理成為工業(yè)環(huán)保領(lǐng)域的重要課題。以下是三氟化氮廢氣處理的主要工藝及技術(shù)要點： 一、處理目標 分解NF?：將其轉(zhuǎn)化為無害或低危害物質(zhì)（如N?、F?等）。 控制副產(chǎn)物：避免分解過程中產(chǎn)生HF、NOx等二次污染物。 &nbs
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